町LAB工場

町Lab工場

株式会社ヤチダ(町工場)は有限会社真空実験室(VacLab)より真空製品に関するライセンスを受け、
超~極高真空向けの製品を製造販売しています。
極高真空環境の実験設備や商品については”お問い合わせ”からお願い致します。
依頼試験についてもお気軽にお問い合わせください。

マジックニップル

 “マジックニップル”は極高真空向けに開発したBeCu合金製の商品です。
BAゲージなどの熱陰極電離真空計が超高真空、極高真空環境で、大きなガス源になることに着目し、
現状のSUS製ケーシングを交換していただくだけで真空度を下げることができます。

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特徴

1. 真空計のガス放出が1/7に減る
2. 到達真空が1桁程度良くなる
3. 消費電力が1/2以下に減る
4. 銅ガスケットが使える

マジックNEGポンプ

極高真空(XHV)領域まで排気能力を拡張させた新しい構想のゲッターポンプです。
ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料や構造が最適化されています。
このマジックNEGポンプに補助ポンプのターボ分子ポンプや小型イオンポンプと組み合わせることで、
大気圧から排気を開始して24h以内に10-10Pa台のXHVを発生させることができます。

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仕様

                       
型式 接続フランジ CF70 CF114
H2&CO排気速度(L/S) 60~70 150~180
N2排気速度(L/S) 20~25 60~70
NEG材料 ZrVFe ZrVFe
活性化電力(W) 23 50
  

ニップルNEGポンプ

チャンバーの壁にピル状(φ10×t3)NEGをタイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。
チャンバー内の配管を置き換えることで、現行のシステムを手軽に極高真空環境にする事ができます。

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仕様

                    
型式 接続フランジ CF114 CF152 CF203 CF253
開放径φmm 32 62 110 160
フランジ面間距離 100 120 200 250
排気速度H2&CO(L/s) 180 500 1500 2000
     

シュラウドNEGポンプ

チャンバーの壁にピル状(φ10×t3)NEGをタイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。
チャンバー内のデットスペースに配置することができ、現行のシステムを手軽に極高真空環境にする事ができます。

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仕様

                    
型式 接続フランジ CF114 CF152 CF203 CF253
開放径φmm 32 62 110 160
フランジ面間距離 100 120 200 250
排気速度H2&CO(L/s) 180 500 1500 2000
  
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