町LAB工場

町Lab工場

株式会社ヤチダ(町工場)は有限会社真空実験室(VacLab)より真空製品に関するライセンスを受け、
超~極高真空向けの製品を製造販売しています。
今後、これら製品を使用した極高真空環境の実験設備や、新商品の開発をおこなっていきます。

マジックNEGポンプ

極高真空(XHV)領域まで排気能力を拡張させた新しい構想のゲッターポンプです。
ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料や構造が最適化されています。
このマジックNEGポンプに補助ポンプのターボ分子ポンプや小型イオンポンプと組み合わせることで、
大気圧から排気を開始して24h以内に10-10Pa台のXHVを発生させることができます。

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仕様

                       
型式 接続フランジ CF70 CF114
H2&CO排気速度(L/S) 60~70 150~180
N2排気速度(L/S) 20~25 60~70
NEG材料 ZrVFe ZrVFe
活性化電力(W) 23 50
  

ニップルNEGポンプ

チャンバーの壁にピル状(φ10×t3)NEGをタイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。
チャンバー内の配管を置き換えることで、現行のシステムを手軽に極高真空環境にする事ができます。

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仕様

                    
型式 接続フランジ CF114 CF152 CF203 CF253
開放径φmm 32 62 110 160
フランジ面間距離 100 120 200 250
排気速度H2&CO(L/s) 180 500 1500 2000
     

シュラウドNEGポンプ

チャンバーの壁にピル状(φ10×t3)NEGをタイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。
チャンバー内のデットスペースに配置することができ、現行のシステムを手軽に極高真空環境にする事ができます。

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仕様

                    
型式 接続フランジ CF114 CF152 CF203 CF253
開放径φmm 32 62 110 160
フランジ面間距離 100 120 200 250
排気速度H2&CO(L/s) 180 500 1500 2000
  
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