町LAB工場

　“マジックニップル”は極高真空向けに開発したBeCu合金製の商品です。
BAゲージなどの熱陰極電離真空計が超高真空、極高真空環境で、大きなガス源になることに着目し、
現状のSUS製ケーシングを交換していただくだけで真空度を下げることができます。

極高真空(XHV)領域まで排気能力を拡張させた新しい構想のゲッターポンプです。
ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料や構造が最適化されています。
このマジックNEGポンプに補助ポンプのターボ分子ポンプや小型イオンポンプと組み合わせることで、
大気圧から排気を開始して24h以内に10-10Pa台のXHVを発生させることができます。

チャンバーの壁にピル状（φ10×t3）ＮＥＧをタイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。
チャンバー内の配管を置き換えることで、現行のシステムを手軽に極高真空環境にする事ができます。

チャンバーの壁にピル状（φ10×t3）ＮＥＧをタイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。
チャンバー内のデットスペースに配置することができ、現行のシステムを手軽に極高真空環境にする事ができます。